色谱螺旋型结构。传统色谱分离柱一般由有机玻璃制作，由于其长度一般较长，在安装和使用过程中都环绕成螺旋状，而在初期制作微型色谱分离柱时，科研人员还是继承了这一点，将微型分离柱设计为螺旋型结构。其中，该结构又可以分为圆形螺旋型结构和正多边形螺旋型结构（常见的为正方螺旋型）。与其他结构相比，在制作相同截面形状和长度的色谱分离柱时，螺旋型结构分离柱所占的基底面积最小。
将MEMS技术用于制造微型气相色谱分离柱开始于1979年美国斯坦福大学的科学家S.C.Terry等人在硅基底上制造的螺旋型分离柱，总长1.5m，通过各向同性湿法腐蚀，制作的分离柱沟槽截面宽200μm、深30μm。尽管该微型分离柱的性能不如传统的石英玻璃分离柱，但实现了简单烷烃化合物和混合物的快速分离。涂覆OV－101固定相后，对戊烷和己烷的保留时间分别为3.3和4.6s。
尽管S.C.Terry等人制作的微型气相色谱分离柱与现在的研究非常接近，但由于当时微型化的需求还不够强烈，并未引起当时科学界的重视。直到90年代初期，微型气相色谱分离柱的制造在全世界范围内得到了重视，并快速发展。该系统包括：微型进样装置和螺旋型结构色谱分离柱（长0.9m，截面宽300μm，深度仅有10μm，各向同性湿法腐蚀制作），涂覆有铜酞菁（CuPc）固定相用来分离和检测NH3和NO2，对NH3和NO2的分辨率达10－6量级。有机玻璃干燥管